西安实验室设备电弧法和高频感应法。等离子枪也分成电弧等离子枪和高频感应等离子枪两大类。其中电弧等离子枪又有非转移弧式、转移弧式和中空阴极式等几种。在等离子炉上应用的多为转移弧式等离子枪以及中空阴极式等离子枪。产生等离子所用的工作气体有氩(Ar)、氦(He)、氢(H2)、氮(N2)、氩氢混合气和氩氮混合气等。其中以氩气用得最多,因为它是单原子气体,容易电离,又是惰性气体,对电极和被熔化的金属可以起到保护作用。另外它的价格也较便宜。
非转移弧式和转移弧式等离子枪结构基本相同,由阳极和阴极组成。阴极要求用较低电子逸出功和较强的电子发射能力的难熔金属制成,通常是一根钨棒或表面涂有二氧化钍的钨棒(称为钍钨电极),也有用钨铈棒的(称为铈钨电极),加钍加锫是为了提高阴极发射电子的能力。阳极是一个水冷筒电极,其端口做成喷口形状,工作气体由上面引入,从喷口喷出。西安实验室设备具体结构如下图所示。
工作时先用其它电源如火花高频发生器,在阴极和阳极之间触发电弧。这里的电弧放电过程和电弧炉放电过程是一样的,阴极发射的电子由于电场的加速而射向阳极,在图中撞击其它的气体原子而使之电离,产生等离子体。不同的是这里存在工作气体的气流,这气流使得等离子体从喷口喷出而形成等离子焰。等离子体在离开枪的喷口后,其中的自由电子和正离子随即复合为气体原子和分子,并放出原来在电弧中所吸收的能量,这能量使等离子焰达到比电弧更高的温度。
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