【科研仪器定制厂家】射频电源及其应用

       科研仪器定制厂家的射频电源是等离子体配套电源，它是由射频功率源、阻抗匹配器以及阻抗功率计组成，是80年代末期在我国新型的高科技领域，应用于射频溅射、PECVD化学气相沉积和反应离子刻蚀等设备中。

       现代的射频电源有了长足的发展，由80年代的电子管电源逐步发展成现代的晶体管射频电源，功率由瓦、百瓦、千瓦到兆瓦，频率有2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz等，而科研仪器定制厂家应用领域也从以前的真空领域扩展到了美容、半导体领域。

       射频电源产生等离子体的原理，是在一个密闭的真空压力容器里，利用真空泵获得一定的真空度，射频被馈入到真空室的两个极板间，在两个极板间产生一个变电场。气体在电厂上被电离，产生了相对应的离子。带电离子不断被加速碰撞，气体分子产生级联效应。就这样产生了辉光，从而产生了等离子体。

       等离子体是由部分电子被剥离了的原子以及原子被电离后产生的正负电子而产生的离子化气体状物质。它是除固体、液体、气体外物质存在的第四态。科研仪器定制厂家等离子体是一种很好的导电体，利用经过巧妙设计的磁场可以捕获、移动和加速等离子体。等离子体物理的发展为材料、能源、信息、环境空间、空间物理和地球物理等的进一步发展提供了新的技术和工艺。

       看似神秘的等离子体，其实是宇宙中一种常见的物质，在太阳、恒星、闪电中都存在等离子体，它占了整个宇宙的99%。现在人们已经掌握了利用电场和磁场来产生和控制等离子体。例如焊工用高温等离子体来焊接金属。

       等离子体可分为两种：高温等离子体和低温等离子体。以上提到的是高温等离子体。现在低温等离子体广泛用于多个生产领域。例如等离子电视、婴儿尿布表面防水涂层、增加啤酒瓶阻隔性。更重要的是在电脑芯片中的刻蚀作用，让网络时代成为现实。高温等离子体只有温度足够高时才会发生。科研仪器定制厂家太阳和恒星不断发出这种等离子体，组成了宇宙的99%。低温等离子体是在常温下发生的等离子体（虽然电子的温度很高）。低温等离子体可以被用于材料的表面出里或者有机、无机物的沉淀涂层处理。

       科研仪器定制厂家采用射频溅射相比与直流溅射的有点在于：

       ⑴.可在低气压下进行，溅射速率高；

       ⑵.不仅可以溅射金属靶也以溅射绝缘靶，以把金属、半导体、绝缘体任意材料薄膜化；

       ⑶.必须十分注意接地问题。